G300M大口径激光干涉仪

G300M大口径激光干涉仪系统是双路测量系统：一路是100mm（4英寸）小口径测 量系统，另一路是大口径平面测量系统。100mm口径系统可以进行平面元件和球面元件的测量。大 口径平面测量系统从100mm口径扩束到300mm（12英寸），标配平面透过 标准镜和平面反射标准镜。
仪器规格参数表
产品型号
G450M
G450S
G300M
G300S
测量方式
菲索干涉原理
菲索干涉原理
菲索干涉原理
菲索干涉原理
有效通光口径
100mm和450mm
450mm
100mm和300mm
300mm
标准镜材料
熔石英
熔石英
熔石英
熔石英
光源
波长调谐激光（632.8nm），配合波长移相干涉条纹分析软件
氦氖激光（632.8nm）不选配干涉条纹分析软件
连续变焦倍数
1-6.7倍
固定倍率
1-6.7倍
固定倍率
光路切换
对准（十字叉丝）与测试（干涉场）模式电控切换
显示方式
计算机或独立监视器实时显示
小口径平面标准镜
PV：优于λ/20
 
PV：优于λ/20
 
小口径球面标准镜
PV：优于λ/10和λ/20
 
PV：优于λ/10和λ/20
 
大口径平面透过标准镜
PV：优于λ/10
PV：优于λ/10
PV：优于λ/15
PV：优于λ/15
大口径平面反射标准镜
PV：优于λ/10
PV：优于λ/10
PV：优于λ/15
PV：优于λ/15
大口径综合测量精度
PV：优于λ/10
PV：优于λ/10
PV：优于λ/10
PV：优于λ/10
衰减过滤片
选配
电源
AC100-240V 50/60Hz
推荐气浮平台尺寸
(长X宽)
3.5X1.2米
3.5X1.2米
2.5X1.2米
2.5X1.2米